




特種氣體的介紹
特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為:惰性氣體、易1燃易1爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體;根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為:特種氣體和大宗特種氣體。
特種氣體它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率,長沙特種氣體,并從根本上制約著電路和器件的精1確性和準(zhǔn)確性。電子特氣的使用行業(yè)主要有太陽能電池片、半導(dǎo)體發(fā)光二極管(LED)、液晶面板、光纖、IC、半導(dǎo)體分立器件、線路板等高精尖行業(yè)。

特種氣體:高純氯1氣
高純氯1氣制取方法
高純氯的生產(chǎn)方法仍以工業(yè)氯為原料,吸附凈化。工業(yè)液1氯中的雜質(zhì)含量較多,哪里有特種氣體廠家,欲制得高純氯必須把原料氯中的H2O、O2、N2、CO2、CO、H2、CH4等除去,除H2O外其余雜質(zhì)的沸點(diǎn)均低于氯,故用物理吸附法除去H2O和CO2;冷凝分離法除去O2、N2、H2、CO、CH4等。但氯不僅劇1毒,且具有強(qiáng)氧化、強(qiáng)腐蝕的異常活潑的化學(xué)性質(zhì),工業(yè)特種氣體,除少數(shù)稀有氣體外,幾乎能與所有元素形成化合物。因此要篩選不受氯腐蝕、不與氯起化學(xué)反應(yīng)的干燥劑、吸附劑,以及這些吸附劑的化學(xué)處理、再生等。


特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工
供氣系統(tǒng)的選擇
簡單供氣系統(tǒng)
簡單供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺的工藝設(shè)備等。它們的制程簡單,通常不需要連續(xù)性供氣,對氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。
惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng),有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房,特種氣體廠,甚至沒有氣體房,特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道,或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。簡單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。


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